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发明名称
摘要
申请公布号 JP2605959(B2) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 JP19900329676 申请日期 1990.11.30
申请人 发明人
分类号 C04B41/91;C23F4/00;H01B3/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
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