发明名称 |
一种半导体光发射器件及其制作方法 |
摘要 |
一种半导体光发射器件,包括一个具有前后表面的硅衬底;一个位于硅衬底前表面的第一过渡层;几个连续位于第一过渡层上的氮化镓串接化合物半导体层。可通过解理产生谐振腔的小平面,并可实现如下结构:一对电极分别置于光发射器件相对的最顶层表面和最底层表面。成本低,而且在氮化镓串接化合物半导体层生长的最初阶段,产生了大量的生长核,而这些生长核又加速了二维生长,结果获得了高质量的氮化镓串接化合物半导体层。 |
申请公布号 |
CN1148734A |
申请公布日期 |
1997.04.30 |
申请号 |
CN96109402.8 |
申请日期 |
1996.08.08 |
申请人 |
三菱电机株式会社 |
发明人 |
川津善平;早藤纪生;迪撒德·马克斯 |
分类号 |
H01L33/00;H01L21/20;H01S3/19 |
主分类号 |
H01L33/00 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王以平 |
主权项 |
1.一种半导体光发射器件,包括:一个具有相对的前表面和后表面的硅(Si)衬底(1);一个置于硅衬底(1)的前表面上的非晶的或者多晶的第一缓冲层(2);以及几个顺次地置于第一缓冲层(2)上的串接的氮化镓(GaN)化合物半导体层(3,4,5),其中包括一个光发射区域,在这一区域中,通过电子与空穴的复合可产生光。 |
地址 |
日本东京 |