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发明名称 System und Verfahren zur Bestimmung des Verdrahtungsmusters
摘要
申请公布号 DE69028676(T2) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 DE19906028676T 申请日期 1990.10.24
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SHINDO, TATSUYA, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA, 214, JP;KAWAMURA, KAORU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA, 227, JP
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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