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发明名称 Anordnung und Verfahren zum plasmagestützten Bearbeiten von Werkstücken
摘要
申请公布号 DE4404077(C2) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 DE19944404077 申请日期 1994.02.09
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 60596 FRANKFURT, DE 发明人 SCHADE, KLAUS, PROF. DR., 01307 DRESDEN, DE;STEINKE, OLAF, DIPL.-ING., 13156 BERLIN, DE
分类号 C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/46;C23C16/24 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
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