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发明名称 MAGNETISCHE STRUKTUR FÜR EINE MITTELS ELEKTRONENSTRAHL ERWÄRMTE VERDAMPFUNGSQUELLE
摘要
申请公布号 DE69030299(D1) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 DE19906030299 申请日期 1990.05.17
申请人 HANKS, CHARLES W., VENTURA, CALIF., US 发明人 HANKS, CHARLES W., VENTURA, CALIF., US
分类号 C23C14/30;H01J37/14;H01J37/147;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/305 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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