发明名称 VERFAHREN ZUM PLASMAGESTÜTZTEN REAKTIVEN ELEKTRONENSTRAHLBEDAMPFEN
摘要
申请公布号 DE59305985(D1) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 DE19935005985 申请日期 1993.08.18
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 SCHILLER, SIEGFRIED, D-01324 DRESDEN, DE;KIRCHHOFF, VOLKER, D-01324 DRESDEN, DE;ZEISSIG, GERHARD, D-01069 DRESDEN, DE;SCHILLER, NICOLAS, D-01833 HELMSDORF, DE;GOEDICKE, KLAUS, D-01307 DRESDEN, DE;NEUMANN, MANFRED, D-01277 DRESDEN, DE
分类号 C23C14/30;C23C14/00;C23C14/32;C23C14/54;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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