发明名称
摘要
申请公布号 JP2604129(B2) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 JP19950126386 申请日期 1995.05.25
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/092;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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