发明名称 Verfahren und Gerät zur Steuerung von Ladungsträgerstrahlen in einem Belichtungssystem mittels Ladungsträgerstrahlen
摘要
申请公布号 DE69030243(D1) 申请公布日期 1997.04.24
申请号 DE19906030243 申请日期 1990.12.18
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KAI, JUNICHI, SETAGAYA-KU, TOKYO 158, JP;YASUDA, HIROSHI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 222, JP;TAKI, KAZUTAKA, TAKATSU-KU, KAWASAKI-SHI, KANGAWA 213, JP
分类号 H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/317;G03F7/20 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
主权项
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