Ein Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Transistors und eines Aktive-Matrix-Substrates für Flüssig-Kristall-Anzeige-Anordnungen,申请号DE19916025260-传众专利搜索

发明名称	Ein Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Transistors und eines Aktive-Matrix-Substrates für Flüssig-Kristall-Anzeige-Anordnungen
摘要
申请公布号	DE69125260(D1)	申请公布日期	1997.04.24
申请号	DE19916025260	申请日期	1991.12.24
申请人	SHARP K.K., OSAKA, JP	发明人	MITANI, YASUHIRO, HABIKINO-SHI, OSAKA, JP;IKUBO, KATSUMASA, TENRI-SHI, NARA-KEN, JP;SHIMADA, YASUNORI, NARA-SHI, NARA-KEN, JP;TANAKA, HIROHISA, IKOMA-GUN, NARA-KEN, JP;MORIMOTO, HIROSHI, KITAKATSURAGI-GUN, NARA-KEN, JP;NISHI, YUTAKA, OSAKA-SHI, OSAKA, JP;YAMAMOTO, TOMOHIKO, TENRI-SHI, NARA-KEN, JP;NISHIMURA, KENICHI, TENRI-SHI, NARA-KEN, JP
分类号	H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
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