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发明名称
Mehrfach-Halbleitertestsystem
摘要
申请公布号
DE19680091(T1)
申请公布日期
1997.04.24
申请号
DE19961080091T
申请日期
1996.01.23
申请人
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
HIRATA, KAZUNARI, SAITAMA, JP
分类号
G01R31/26;G01R31/28;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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