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经营范围
发明名称
N,N-Disubstituted sulfonamides and radiation-sensitive composition produced therewith
摘要
申请公布号
EP0602376(B1)
申请公布日期
1997.04.23
申请号
EP19930117979
申请日期
1993.11.05
申请人
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
EICHHORN, MATHIAS, DR.;BUHR, GERHARD, DR.
分类号
C07C311/16;C07C311/53;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C07C311/53
主分类号
C07C311/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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