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发明名称
Process for manufacturing EEPROM memory cells having a single level of polysilicon and thin oxide by using differential oxidation
摘要
申请公布号
EP0416687(B1)
申请公布日期
1997.04.23
申请号
EP19900202302
申请日期
1990.08.28
申请人
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L.
发明人
GHEZZI, PAOLO;RIVA, CARLO;VALENTINI, GRAZIA
分类号
H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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