发明名称 Process for manufacturing EEPROM memory cells having a single level of polysilicon and thin oxide by using differential oxidation
摘要
申请公布号 EP0416687(B1) 申请公布日期 1997.04.23
申请号 EP19900202302 申请日期 1990.08.28
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 GHEZZI, PAOLO;RIVA, CARLO;VALENTINI, GRAZIA
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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