密封腔上的压电谐振器及其制造方法

摘要

制造一种带密封腔的薄膜压电谐振器的方法，包括：形成一个在其表面带空腔的第一衬底，形成一个在其表面带介电层的第二衬底，并在空腔的覆盖围壁上把第二衬底接合到第一衬底上。然后把第二衬底的至少一部分从介电层被刻蚀掉以在覆盖空腔的区中暴露出一个刻蚀平面表面。在刻蚀平面表面上定位设置第一电极，在第一电极上定位设置一层压电膜，以及在压电膜上定位设置第二电极。

主权项

1.一种制造带有一密封腔的薄膜压电谐振器的方法，包括步骤：制备带有一平面表面的第一衬底；在所述衬底的所述平面上形成一个空腔；制备带有一平面表面的第二衬底；在所述第二衬底的所述平面表面上放置一材料层，以在所述材料层上形成一与所述第二衬底的所述平面表面平行的平面表面，所述材料层的特点是可以被接合到所述第一衬底的所述表面，所述材料层的另一特点是所述第二衬底可以从所述材料层被选择刻蚀；将所述材料层的所述平面表面以复盖着空腔的方式接合到所述第一衬底的所述表面；从所述材料层上刻蚀掉所述第二衬底的一部分以暴露出一个在复盖着所述空腔上的区域内的刻蚀平面；在所述空腔上部区域内的所述刻蚀平面上定位设置第一电极；在所述第一电极上定位设置一层压电膜；和在所述压电膜上定位设置第二电极。