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发明名称
摘要
申请公布号	JP2602414(B2)	申请公布日期	1997.04.23
申请号	JP19940133492	申请日期	1994.06.16
申请人		发明人
分类号	G01N21/84;B65D85/86;H01L21/66;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):B65D85/86	主分类号	G01N21/84
代理机构		代理人
主权项
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