基片倒棱加工装置

摘要

本发明的在基片的外径端面、内径端面上磨削加工倒棱的基片内外径、倒棱加工装置，具有：用所带砂轮在基片内径端面、外径端面上加工倒棱的内外径、倒棱加工机11；依次测定用该加工机11加工的基片倒棱长度的测定装置12；从由该测定装置的测定结果算出砂轮进给量的修正量的测定处理装置13；以及控制内外径、倒棱加工机的动作，根据来自测定处理装置的修正量来改变砂轮进给量的控制装置14；可不用人工而经常维持合适的基片倒棱长度。

主权项

1.一种在基片端面磨削加工倒棱的基片倒棱加工装置，其特征在于，具有：带有砂轮、用该砂轮在上述基片端面上加工倒棱的倒棱加工机、依次测定用上述倒棱加工机加工的基片倒棱长度的测定装置、从该测定装置测定的结果算出上述砂轮进给量的修正量的测定处理装置、以及控制上述倒棱加工机的动作、根据来自上述测定处理装置的修正量来改变上述砂轮进给量的控制装置。