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发明名称 Speed enhancers for acid sensitized resists
摘要
申请公布号 EP0445058(B1) 申请公布日期 1997.04.23
申请号 EP19910480015 申请日期 1991.01.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BRUNSVOLD, WILLIAM ROSS;KNORS, CHRISTOPHER JOHN;MONTGOMERY, MELVIN WARREN;MOREAU, WAYNE MARTIN;WELSH, KEVIN MICHAEL
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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