发明名称 单质硫的硫和金属离子复合注入方法
摘要 本发明采用单质硫在金属离子注入系统中进行硫-金属离子复合注入材料表面改性。该技术具有束斑大、无污染、工艺简单的特点。适用于宇航工程、机械工程中的高精度部件的材料表面改性。
申请公布号 CN1034680C 申请公布日期 1997.04.23
申请号 CN92111302.1 申请日期 1992.09.29
申请人 大连理工大学 发明人 李国卿;闻学亚;史维东
分类号 C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 大连理工大学专利事务所 代理人 侯明远
主权项 1.一种在金属离子注入系统中进行硫和金属离子复合注入方法,其特征在于:在金属离子注入系统中,将单质硫置于金属或导电体的阴极载体上,由金属弧引发硫蒸气产生硫等离子体,实现硫—金属离子复合注入。
地址 116024辽宁省大连市凌水河