发明名称 |
THIN-FILM TRANSISTOR AND PREPARATION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09107102(A) |
申请公布日期 |
1997.04.22 |
申请号 |
JP19950261897 |
申请日期 |
1995.10.09 |
申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
HATA AKIHIRO;ADACHI MASAHIRO |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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