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发明名称 ION IRRADIATION DEVICE FOR POWDER/GRANULE
摘要
申请公布号 JPH09105800(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19950290410 申请日期 1995.10.12
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 AGAWA YOSHIAKI
分类号 G21K5/04;B01J19/08;C01B33/18;(IPC1-7):G21K5/04 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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