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发明名称 METHOD FOR FUSION-BONDING NITRIDE OR SILICONITRIDE OF TITANIUM OR TANTALUM
摘要
申请公布号 JPH09104984(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19960161083 申请日期 1996.05.31
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM>;THIOKOL CORP 发明人 MAIKERU SHIYAPIRO;RABUI KANJIYORIA;BEN SHII FUI;POORU EFU SEDORAA;KAREN HOROUEI;RICHIYAADO KONTEI;JIYONASAN CHIYAPERUUSOKOORU
分类号 C23C16/18;C23C16/34;C23C16/42;(IPC1-7):C23C16/34 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
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