发明名称 HIGH PURITY NITROGEN GAS MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09105579(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19960293016 申请日期 1996.11.05
申请人 DAIDO HOXAN INC 发明人 YOSHINO AKIRA
分类号 F25J3/04;(IPC1-7):F25J3/04 主分类号 F25J3/04
代理机构 代理人
主权项
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