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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09107096(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19950262642 申请日期 1995.10.11
申请人 NEC CORP 发明人 HAMADA HIROYUKI
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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