发明名称 MANUFACTURE OF PROBE STRUCTURE AND, CIRCUIT BOARD USED THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09105761(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19950261706 申请日期 1995.10.09
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 MORI YOSHIHISA;HINO ATSUSHI;ISHIZAKA HITOSHI
分类号 G01R31/26;G01R1/04;G01R1/06;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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