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发明名称 BARRIER SEAL FOR ELECTROSTATIC CHUCK
摘要
申请公布号 JPH09107689(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19960118086 申请日期 1996.05.13
申请人 APPLIED MATERIALS INC;INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 JIYOSEFU SARUFUERUDA;DENISU GURIMAADO;JIYON EFU KIYAMERON;CHIYANDORA DESHIYUPANDEI;ROBAATO RAIAN;MAIKERU JII CHIYAFUIN
分类号 H02N13/00;H01L21/683;(IPC1-7):H02N13/00 主分类号 H02N13/00
代理机构 代理人
主权项
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