| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09106949(A) |
申请公布日期 |
1997.04.22 |
| 申请号 |
JP19950261402 |
申请日期 |
1995.10.09 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
SHIBA IKUNARI;KATAHAMA HISASHI |
| 分类号 |
C30B23/08;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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