| 发明名称 |
CONDUCTOR FILM AND ITS FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09104969(A) |
申请公布日期 |
1997.04.22 |
| 申请号 |
JP19960205840 |
申请日期 |
1996.08.05 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OKUDA AKIRA;SHIBAZAKI HATSUHIKO;MARUYAMA KENJI;YANO TAKASHI;KOBAYASHI YASUHIRO |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/285;H05K1/03;H05K3/14;H05K3/38;(IPC1-7):C23C14/14 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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