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发明名称 CASSETTE
摘要
申请公布号 JPH09104981(A) 申请公布日期 1997.04.22
申请号 JP19950284614 申请日期 1995.10.05
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 OSONO MASA;ODAGI HIDEYUKI
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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