发明名称 硬化装置
摘要 本创作之目的系在提供一种在试料搬送不良产生时除去试料之作业、搬送钢丝断裂时搬送钢丝之更换作业、搬送钢丝及加热块之清扫作业等,可在短时间内有效率地质施之硬化装置。本创作硬化装置在构成上,具有:一在内部具有用以将试料加热之复数个加热块的试料加热室用盒体4,以及一配设于试料加热室用盒体5之上,经由对应上述加热块形成之气体供给槽隙形成板的气体供给槽隙,对于加热块上供给高温气体之气体供给室用盒体5;上述气体供给室用盒体5,相对试料加热室用盒体4系开闭自如。
申请公布号 TW303983 申请公布日期 1997.04.21
申请号 TW085216789 申请日期 1996.02.24
申请人 新川股份有限公司 发明人 菅沼年春;新井满夫
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1. 一种硬化装置,系用以将介以糊料以晶片结合于引线框架之试料的上述糊料乾燥;其特征系在:具备:试料加热室用盒体,内部具有配设成在上述试料搬送方向具有间隙,用以将上述试料加热之复数个加热块;气体供给室用盒体,配设于该试料加热室用盒体之上,具有对应于上述加热块形成有气体供给槽隙之气体供给槽隙形成板,经由上述气体通过槽隙在上述加热块上供给高温气体;搬送机构,将上述试料搬送而予依序载置于上述各加热块上;以及排气管,用以将上述试管加热室用盒体所产生之有害气体予以排气;上述气体供给室用盒体,相对上述试料加热室用盒体,系构成为开闭自如者。图示简单说明:图1系本创作硬化装置之一实施例之正视图。图2系上述实施例之右侧视图。图3系上述实施例之平面图。图4系上述实施例之盒体部份之纵断面图。图5系上述实施例之气体供给室用盒体部份经除去的试料加热用盒体部份及搬送部份之平面图。图6系图4之A-A线断面图。图7系图5试料加热室用盒体部份之B-B线断面图。图8中所示的是反覆驱动滑轮,(a)系正视图,(b)系平面图。图9系钢丝绳之正视图。图10系钢丝绳结合用结合具之正视图。图11系钢丝绳之张挂方法之说明图。图12系图11箭头C部份之箭头视图。
地址 日本