WAFER CLEANING APPARATUS,申请号KR19940006933U-传众专利搜索

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发明名称	WAFER CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR970003597(Y1)	申请公布日期	1997.04.18
申请号	KR19940006933U	申请日期	1994.04.01
申请人	HYUNDAI ELECTRONICS IND.CO.,LTD.	发明人	KIM, HAK-MOOK;SEO, BOO-KIL
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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