POLYSILICON ETCHER OF WAFER REARFACE,申请号KR19940004973U-传众专利搜索

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发明名称	POLYSILICON ETCHER OF WAFER REARFACE
摘要
申请公布号	KR970003598(Y1)	申请公布日期	1997.04.18
申请号	KR19940004973U	申请日期	1994.03.11
申请人	LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD.	发明人	JUNG, YEUN-KOOK
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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