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发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON WOLFRAM AUF TITANNITRID DURCH CVD OHNE SILAN
摘要
申请公布号 DE69308847(D1) 申请公布日期 1997.04.17
申请号 DE19936008847 申请日期 1993.06.11
申请人 MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y., US 发明人 FOSTER, ROBERT, F., PHOENIX, AZ 85044, US;SRINIVAS, DAMODARAN, TEMPE, AZ 85282, US
分类号 C23C16/02;C23C16/04;C23C16/14;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/02 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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