| 发明名称 |
Artikel für die Halbleiterindustrie |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29703012(U1) |
申请公布日期 |
1997.04.17 |
| 申请号 |
DE1997203012U |
申请日期 |
1997.02.20 |
| 申请人 |
DYNEON GMBH, 84508 BURGKIRCHEN, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
B65D85/86;C08L27/18;H01L21/673;H01L23/14;(IPC1-7):H01L21/68;C08F14/26 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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