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发明名称 Hochpräzises Positioniersystem
摘要
申请公布号 DE69028574(T2) 申请公布日期 1997.04.17
申请号 DE19906028574T 申请日期 1990.05.31
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP;KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI, KITAKYUSHU, FUKUOKA, JP 发明人 FUTAMI, SHIGERU, TSUKUBA-SHI, IBARAKI 305, JP;FURUTANI, AKIHIRO, TSUKUBA-SHI, IBARAKI 305, JP
分类号 G05D3/00;G05D3/12;H01L21/68;(IPC1-7):G05B19/21;G01B21/04 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
主权项
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