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发明名称 POST TREATMENT OF A COATED SUBSTRATE WITH A GAS CONTAINING EXCITED HALOGEN TO REMOVE RESIDUES
摘要
申请公布号 EP0710161(A4) 申请公布日期 1997.04.16
申请号 EP19940922123 申请日期 1994.07.12
申请人 FUSION SYSTEMS CORPORATION 发明人 SPARKS, EILEEN, R.;MITCHENER, JAMES, C.;ROUNDS, STUART, N.;MATTHEWS, JOHN, C.
分类号 G03F7/36;B08B3/02;B08B5/00;B08B6/00;C03C17/32;C03C23/00;C23F1/00;C23F1/12;C23F4/00;C23G5/00;G03F7/42;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/311;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/12;B08B7/00;B08B7/02;B08B7/04;C23G1/00;G03C5/00 主分类号 G03F7/36
代理机构 代理人
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