DEVICE FOR PROCESSING SUBSTRATES WITHIN A PLASMA,申请号EP19930900014-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE FOR PROCESSING SUBSTRATES WITHIN A PLASMA
摘要
申请公布号	EP0588992(B1)	申请公布日期	1997.04.16
申请号	EP19930900014	申请日期	1992.06.09
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	HEINRICH, FRIEDHELM;HOFFMANN, PETER
分类号	C23C14/34;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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