| 发明名称 |
Manufacturing device for exposed and metallised substrates |
| 摘要 |
<p>Eine Vorrichtung zur Herstellung von belichteten und metallisierten Substraten für die Masterscheibenfertigung hat hintereinander eine Scheibenbelackungsstation, einen Laser Beam Recorder, eine Entwicklungsstation und einen Metallisierer. Dem Laser Beam Recorder ist jeweils eine Kassettenstation (7) zum Zwischenspeichern von Substraten vor- und nachgeschaltet. Die Kassettenstation (7) hat ein fest installiertes Puffermagazin (9) für Substrate und ein der Vorrichtung entnehmbares Zusatzmagazin (10) für weitere Substrate. Dadurch kann man an der dem Laser Beam Recorder vorgeschalteten Kassettenstation mit dem Zusatzmagazin (10) Substrate entnehmen, auf einem separaten Laser Beam Recorder beschriften und danach wieder in die Produktionsanlage einschleusen. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0768703(A2) |
申请公布日期 |
1997.04.16 |
| 申请号 |
EP19960113593 |
申请日期 |
1996.08.24 |
| 申请人 |
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
HENSEL, BERND;HOFMANN, FRIEDRICH;REUS, MANFRED;KOOP, HERMANN, DR.;FEICK, EBERHARD |
| 分类号 |
G11B7/26;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G11B7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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