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发明名称
摘要
申请公布号 JP2599714(B2) 申请公布日期 1997.04.16
申请号 JP19870097713 申请日期 1987.04.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/283;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
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