发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB9704055(D0) 申请公布日期 1997.04.16
申请号 GB19970004055 申请日期 1997.02.27
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/49 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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