发明名称 |
Semiconductor device and method for producing the semiconductor device |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0553393(B1) |
申请公布日期 |
1997.04.16 |
申请号 |
EP19920113928 |
申请日期 |
1992.08.13 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HAYAFUJI, NORIO |
分类号 |
H01L21/205;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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