Laser beam irradiation device for a disk-shaped substrate

摘要

Bei einer Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates (5) ist auf einem Schlitten (2), welcher eine Substrataufnahme (4) aufweist, entlang der Vorschubbahn des Schlittens (2) ein Maßstab (15) angeordnet. Ihm gegenüber befindet sich nahe eines Laserstrahl-Objektivs (11) ein Sensor (14). Das Laserstrahl-Objektiv (11) ist in Vorschubrichtung des Schlittens (2) mittels eines Stellantriebs (18) begrenzt beweglich, so daß Vorschubfehler aufgrund der mit Hilfe des Maßstabs (15) gemessenen Positionen korrigiert werden können. <IMAGE>