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发明名称 FOREIGN MATTER INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09101267(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950282563 申请日期 1995.10.03
申请人 NIKON CORP 发明人 YAMAMOTO KENJI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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