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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09100196(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950259914 申请日期 1995.10.06
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HIROSHI;AMANO SHUNJI;MIYAI SEIICHI;SOTOZAKI MINEHIRO;HONJO TEIJI
分类号 C30B25/02;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/44;C23C16/50;C30B29/04;C30B30/02;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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