Plasmabehandlungsanlage und Verfahren zu deren Betrieb.,申请号CH19930001343-传众专利搜索

发明名称	Plasmabehandlungsanlage und Verfahren zu deren Betrieb.
摘要
申请公布号	CH687986(A5)	申请公布日期	1997.04.15
申请号	CH19930001343	申请日期	1993.05.03
申请人	BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	EMERAUD, THIERRY, DR.-ING.;SCHMITT, JACQUES, DR.-ING.;TURLOT, EMMANUEL, DR.-ING.
分类号	C23C16/44;C23C16/50;C23C16/503;C23C16/509;C23C16/54;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):C23C16/54	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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