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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09102466(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950261301 申请日期 1995.10.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KUNESHITA NAOKI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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