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发明名称 ELECTRIC FIELD DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH09101328(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950257682 申请日期 1995.10.04
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 SUGIYAMA SUNAO;UEDA TOSHITSUGU;OIKAWA SHINJI;KOYAMA KIYOAKI;YAMAZAKI TSUTOMU;MISAKU JIRO;SUZUKI MICHIHIRO;HAYASHI NAONORI
分类号 G01R31/302;G01R19/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R19/00 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
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