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发明名称 WIRING FORMING METHOD AND MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE USING THIS METHOD
摘要
申请公布号 JPH09102496(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950286734 申请日期 1995.10.06
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI SATOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/321 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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