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发明名称 FILM FORMATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09102463(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950257936 申请日期 1995.10.04
申请人 SHARP CORP 发明人 NOZAKI YOSHIAKI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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