Verfahren zur Herstellung einer Speicherzellenanordnung,申请号DE19951043539-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Speicherzellenanordnung
摘要
申请公布号	DE19543539(C1)	申请公布日期	1997.04.10
申请号	DE19951043539	申请日期	1995.11.22
申请人	SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE	发明人	RISCH, LOTHAR, DR., 85579 NEUBIBERG, DE;HOFMANN, FRANZ, DR., 80995 MUENCHEN, DE;BRUCHHAUS, RAINER, DR., 80997 MUENCHEN, DE;WERSING, WOLFRAM, DIPL.-PHYS., 85551 KIRCHHEIM, DE
分类号	H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/92;(IPC1-7):H01L21/824	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
主权项
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