发明名称 Flache Übergangsbildung mittels Ionen-Implantation
摘要
申请公布号 DE69030042(D1) 申请公布日期 1997.04.10
申请号 DE19906030042 申请日期 1990.09.04
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KASE, MASATAKA, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;KIMURA, MAMI, 505, HAIHOUMU TSURUMI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 230, JP;KIKUCHI, YOSHIO, YASHIO-SHI, SAITAMA 340, JP
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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