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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE69028397(T2)
申请公布日期
1997.04.10
申请号
DE1990628397T
申请日期
1990.12.26
申请人
SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
HOZUMI, HIROKI, SHINAGAWA-KU TOKYO 141, JP;ARAKI, SHINICHI, SHINAGAWA-KU TOKYO 141, JP
分类号
H01L27/04;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/320
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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